
高速线扫共聚焦检测系统
线扫描共焦显微镜(L系列)是一种强大的成像工具,结合了共焦显微术的原理和快速沿单线或线性扫描获取图像的能力,速度非常快。这种创新的显微技术已经革命性地改变了对材料学、微电子学中快速事件的测试。传统共焦显微镜的图像是按像素逐点扫描模式获取的,与之不同的是,线扫描共焦显微镜则是同时捕获整行信息,在检测速度上拥有传统显微镜无法比拟的优势,非常适合应用于快速工业检测中。 高速线扫描共焦显微镜的核心是其能够沿线扫描激光或照明穿过样品,同时从该相同线收集发射的荧光或反射光。这种技术不受反射光强度的影响,几乎可以对任何材质的物体进行高精度检测,可以有效解决工业检测中对透明物体、高反射镜面和强吸光材料的高精度外观检测难题。

高速采集 (50fps@1024x1024 像素)

精确表面分析与非接触式检测

完美的工业级高速高分辨率解决方案

晶圆缺陷检测