产品规格表 — Google Sheets 管理
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规格预览（共 11 行）
| 参数（中） | 规格值（中） | Param (EN) | Value (EN) |
|---|---|---|---|
| 激光单元 | 标准波长：405nm±5nm；输出方式：单模保偏光纤耦合(TEM00)；单波长输出功率：＞20mW；功率稳定性：<1%；光谱线宽＜3nm | Laser Unit | Standard wavelength: 405nm±5nm; Output: single-mode polarization-maintaining fib… |
| 探测器 | 线阵扫描相机；分辨率：4096*2；像素大小：7μm*7μm；最大线速度：200kHz；像素位宽：8/10/12bit；动态范围≥66.2dB | Detector | Line-scan camera; Resolution: 4096×2; Pixel size: 7μm×7μm; Max line rate: 200kHz… |
| 扫描模块 | 扫描像素：100x100~2048x2048；帧速率：50fps(1024x1024pixels)，500fps(1024x100pixels)快速扫描模式 | Scan Module | Scan pixels: 100×100~2048×2048; Frame rate: 50fps (1024×1024), 500fps (1024×100)… |
| XY分辨率 | ＜500nm@20x物镜 | XY Resolution | <500nm @20x objective |
| 成像深度 | 标准扫描模块<100um | Imaging Depth | Standard scan module <100µm |
| 视场 | 5x：1mmx1mm | 10x：0.51mmx0.51mm | 20x：0.26mmx0.26mm | 40x：0.13mmx0.13mm | 60x：85u… | Field of View | 5x: 1mm×1mm | 10x: 0.51mm×0.51mm | 20x: 0.26mm×0.26mm | 40x: 0.13mm×0.13mm | 60x… |
| 物镜转换器 | 五孔内定位转换器，滚珠轴承内定位 | Objective Turret | 5-position internal positioning turret with ball-bearing locating |
| 样品台 | 具备晶圆真空夹具；台面尺寸：270mm×170mm；电动XY重复定位精度：±0.5um；最大速度：≥100mm/s；有效行程：＞250mm；最大负载能力：＞1K… | Stage | Wafer vacuum chuck; Surface: 270mm×170mm; Motorized XY repeatability: ±0.5µm; Ma… |
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